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洁净室检测方法及标准
 

洁净室检测方法及标准

电子工业首先执行GB50472《电子工业洁净厂房设计规范》,医药工业首先执行GB50457《医药工业洁净厂房设计规范》,其他按照GB50073《洁净厂房设计规范》执行。

洁净室检测主要分为:

一、风量和风速的检测 

二、静压差检测   

 三、洁净度测定 

四、微生物粒子检测 

五、安装后高效空气过滤器的检漏 

六、污染泄漏测试 

七、气流流型试验 

八、自净时间测定 

九、温度及相对湿度检测 

十、照度检测
十一、噪声检测 

十二、防静电地面导静电性能测定



一、风量和风速的检测

风量和风速的检测必须首先进行,净化空调各项效果必须是在设计的风量和风速条件下获得。 


1、测前准备工作: 
风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍( 如过滤器有无被堵、挡),所有阀门应固定在一定的开启位置上,并且必须实际测量被测风口、风管尺寸。 
2、单向流(层流)洁净室的风量测定: 
垂直单向流( 层流) 及水平单向流( 层流) 洁净室,目前均采用截面平均风速与截面面积的乘积来计算风量,关于截面的取法和测点的布置见下表 

单向流洁净室风量测定的有关规定

 

JGJ71- 90

GB50073- 2001

 

垂直单向流

水平单向流

垂直单向流

水平单向流

 

测定截面选取

 

距地面0. 8m

 

距送风面0. 5m

取离高效过滤器0.  3m

垂直于气流的平面

2m, 布置

不大于0. 6m,均匀布置

最少点数

10 点( 算术平均值)

5 点( 算术平均值)

仪器

热球风速仪

未具体规定

 

评定标准

1、应大于设计风速,且不超过20%;

1- 4  级

0. 3- 0. 5

2、不均匀的均方根差不大于0.  25

5  级( 100 级)

0. 2- 0. 5

3、非单向流(乱流)洁净室的风量测定:

非单向流( 乱流) 洁净室的风量可以用风管法和风口法两种方法量测,关于截面的取法和测点的布置见下表

 

 

 

适用场合

 

测定截面位置及测点数的规定

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

向流 洁净 室的

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

对于风口上风侧 较长的支管段, 且已经或可以钻 孔时,可采用。 常用于总管及分 支管风量量测

测定截面的位

置原则上选择 在气流比较均 匀稳定的地 方;与局部阻 力部件的距 离,在局部阻 力部件前不少 于3 倍风管管 径长度;在局 部阻力部件后 不少于5 倍管 径或长边长 度。

对于矩形风管,将测定截面分成若干个

相等的小截面,尽可能接近正方形,边长最好不大于200mm,其截面积不大于 0.05m2,测点在各个小截面中心处,但 整个截面测点数不宜小于3个,测点布 置见下图(矩形风管测点位置示意图)

 

对于圆形风管截面,应按等面积圆环法 划分测定截面的确定测点数;即根据管 径大小将圆管截面分成若干个面积相等 的同心圆环,每个圆环上有四个测点, 四个测点必须在相互垂直的两个直径 上,圆环的中心设一个测点,测点的布 置见下图(圆形风管测点位置示意图)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

多用于高效过滤 器末端风口风量 及房间换气次数 的测定,因此时 往往难于选择足 够的稳定管段。

对于安有过滤器的风口,根据风口形式可选用辅助用管,

即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口 边长的直管段,连接于过滤器风口外部,在辅助风管出口 平面上,按最少测点数不少于6 点均匀布置测点,用热球 风速仪测定各点风速,以风口截面平均风速乘以风口静截 面积确定风量。

对于安有同类扩散板的风口,可以根据扩散板的风量阻力

曲线(出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线)和实 测扩散板阻力(孔板内静压与室内压力之差),查出风量。 测定时用微压计和细毕托管,或用细橡胶管代替毕托管, 但都必须使测孔平面与气流方向平行。

注意 事

 

在测风速时宜用支架固定测夹;不得不用手持风速仪时,手臂要尽量伸直使测头远

离身体(侧方或下游)以减少人身干扰。

①系统的实测风量应大于各自的设计风量,但不应超过20%;

②总实测新风量和设计新风量之差,不应超过设计新风量的±10%;
③室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。

二、静压差检测 

此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内外气流间的相互影响。 

1、检测要求 

(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。 

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。 

(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。 

(4)所测量记录的数据应精确到1.0Pa。 

2、检测步骤: 

(1)先关闭所有的门。 

(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。 

(3)记录所有数据。

 3、合格标准 按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。 

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。 

(2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于10Pa。 

(3)对于空气洁净度等级严于5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。 

(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。



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