欢迎光临-苏州工业园区伟创机电工程有限公司
-->
查看更工程范围
工程领域
projects
您当前的位置:工程领域 > 净化工程 > 无尘室
洁净室工程
发表于:2018-08-09 10:01 分享至:
 

洁净室工程是净化工程的重要组成部分

洁净室标准

ISO 14644-1 and ISO 14698 
 

Class 最大颗粒/m3a FED STD 209E
equivalent
≥0.1 µm ≥0.2 µm ≥0.3 µm ≥0.5 µm ≥1 µm ≥5 µm
ISO 1 10b d d d d e  
ISO 2 100 24b 10b d d e  
ISO 3 1,000 237 102 35b d e Class 1
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83b e Class 10
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 d,e,f Class 100
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 Class 1,000
ISO 7 c c c 352,000 83,200 2,930 Class 10,000
ISO 8 c c c 3,520,000 832,000 29,300 Class 100,000
ISO 9 c c c 35,200,000 8,320,000 293,000 Room air
a 表中所有浓度累积,例如ISO 5级(0)3所示的10 200个粒子μm包括所有粒子等于和大于这个尺寸.
b这些浓度会导致大量的空气样本进行分类。可采用顺序抽样法;见附件D.

c 浓度限制不适用于表的这个区域,因为颗粒浓度非常高.
d 低浓度颗粒的取样和统计会导致分类不准.
e对于低浓度和大于1μm的两种颗粒的样品收集限制,由于取样系统中潜在的颗粒损失,使得这种颗粒尺寸的分类不合适。.
f 为了与ISO类5相关联地指定该颗粒尺寸,可将宏描述符M与至少一个其它颗粒尺寸相适应并使用。